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L'influence des facteurs électrostatiques sur l'emballage d'IC

October 30, 2020

L'industrie des emballages appartient au processus de fabrication principal dans la production entière d'IC. Dans ce processus, pour le paquet en plastique IC, IC hybride ou IC monolithique, il y a principalement gaufrette amincissant (meulage), coupure de gaufrette (tracement), et chargement de noyau. (Feuille adhésive), soudage par pression (liaison), emballage (encapsulation), pré-traitant, plaquant, imprimant, courrier-traitement, coupant les nervures, le support de tube, l'essai de courrier-cachetage, etc. Chaque processus a différentes conditions pour différents environnements de processus.

L'influence des facteurs électrostatiques sur l'emballage d'IC

Tout d'abord, la cause de l'électricité statique peut être vue partout. Aujourd'hui, avec le développement rapide de la science et technologie et du niveau élevé d'automation dans la production industrielle, le mal de l'électricité statique dans la production industrielle est déjà évident. Il peut causer de divers obstacles, limiter l'amélioration du niveau d'automation et affecter la qualité du produit. Voici les raisons principales de la génération de l'électricité statique basée sur la situation réelle de notre usine dans le processus d'emballage et de fabrication de circuit intégré.

1. Les matériaux de construction et de décoration dans l'atelier de production sont en grande partie les matériaux de haute résistance. Le processus de fabrication d'IC exige l'utilisation d'un atelier propre ou d'un atelier ultra-propre.
La dimension particulaire des particules de poussière-élimination est exigée pour être changée des 0.3μm à les 0.1μm précédents, et la densité de particules de poussière est au sujet de 353/m3. À cet effet, en plus de l'installation du divers équipement de dépoussiérage, des matériaux protégés de la poussière inorganiques et organiques doivent être employés pour empêcher la poussière. Cependant, la représentation électrique des matériaux de construction n'est pas considérée comme indicateur. Il n'y a aucune disposition dans les caractéristiques de conception pour les ateliers propres des entreprises industrielles. Les matières principales de décoration intérieure employées dans l'atelier propre de l'usine d'IC sont : plancher élastique de polyuréthane, nylon, plastique dur, polyéthylène, papier peint en plastique, résine, bois, plat blanc de porcelaine, émail, plâtre, etc. La plupart des matériaux mentionnés ci-dessus sont des composés ou des isolateurs de polymère. Par exemple, la résistivité du corps de plexiglass est 1012~1014Ω/cm, et la résistivité du corps de polyéthylène est 1013~1015Ω/cm, ainsi la conductivité est relativement pauvre, et il n'est pas facile couler électricité statique due à une certaine raison à la terre par elles, ayant pour résultat l'accumulation de l'électricité statique.

2. Électricité statique de corps humain
Les différents mouvements et la marche dans les deux sens des opérateurs de pièce propre, des semelles des chaussures et de la terre sont constamment dans le contact et la séparation étroits, et les diverses parties du corps humain ont également des activités et le frottement. Si elle est marche rapide, ralentissez la marche, ou trottant, l'électricité statique sera produite, qui est la soi-disant charge de marche ; le corps humain se lève après déplacement. , Les vêtements de travail portés par le corps humain et la surface de chaise sont séparés après avoir entré en contact avec la surface de chaise, et l'électricité statique sera également produite. Si on ne peut pas éliminer la tension électrostatique du corps humain et la puce d'IC est touchée, elle peut causer la panne d'IC unknowingly.

3. Électricité statique provoquée par la purification de climatisation et d'air
Puisque la production d'IC exige Rhésus 45-55%, la purification de climatisation et d'air doit être mise en application. L'air déshumidifié est envoyé à la salle propre par le filtre primaire, le filtre moyen d'efficacité, le filtre de rendement élevé et le conduit d'air. Généralement, la vitesse du vent du conduit d'air principal est 8~10m/s, et le mur intérieur du conduit d'air est peint. Quand l'air sec et le conduit d'air, l'air sec et le mouvement de filtre relatifs, électricité statique seront produits. Il convient noter que l'électricité statique est plus sensible à l'humidité.
En outre, le transport des demis-produits et des produits d'IC produira de l'électricité statique pendant l'emballage et le transport, qui est l'un des facteurs de l'électricité statique.
Deuxièmement, les dommages de l'électricité statique à IC sont considérables. D'une façon générale, l'électricité statique a les caractéristiques du potentiel élevé et du champ électrique fort. En cours de remplissage électrostatique et décharge, la décharge à forte intensité passagère et l'impulsion électromagnétique (IEM) sont parfois formées, produisant des champs de rayonnement électromagnétique avec une gamme étendue.
En outre, comparé à l'énergie électrique conventionnelle, l'énergie électrostatique est relativement petite. Dans le procédé naturel d'électrification-décharge, les paramètres de la décharge électrostatique (ESD) sont incontrôlables, et c'est un processus aléatoire il est difficile répéter que. Par conséquent, son rôle est souvent affecté par des personnes. Ignoré. Particulièrement dans le domaine de la technologie de la microélectronique, le mal qu'il nous cause étonne. Selon des rapports, la perte économique directe provoquée par électricité statique est aussi haute que plusieurs centaines de million de yuans chaque année. L'électricité statique est devenue un obstacle important au développement de l'industrie de la microélectronique.

Dans l'atelier de production de dispositif de semi-conducteur, dû à l'adsorption de la poussière sur la puce, le rendement d'IC, particulièrement très les circuits intégrés de large échelle (VLSI), sera considérablement réduit. Les opérateurs dans l'atelier de production d'IC utilisent les combinaisons propres. Si le corps humain est chargé de l'électricité statique, il est facile d'absorber la poussière et la saleté. Si ces la poussière et la saleté sont apportées au site d'opération, il affectera la qualité du produit, détériore la performance des produits, et réduit considérablement le rendement d'IC. Si le rayon des particules de poussière adsorbées est plus grand que le μm 100 et la ligne largeur est le μm environ 100, quand l'épaisseur de film est en-dessous du μm 50, le produit est le plus susceptible d'être ferraillé.

Troisièmement, les dommages de l'électricité statique à IC ont certaines caractéristiques.
(1) la dissimulation à moins que la décharge électrostatique se produise, le corps humain ne peut pas directement percevoir l'électricité statique, mais le corps humain peut ne pas sentir une décharge électrique quand la décharge électrostatique se produit. C'est parce que la tension de décharge électrostatique sentie par le corps humain est 2~3kv, ainsi l'électricité statique est cachée.
(2) la potentialité la représentation de quelques éviers n'est pas sensiblement réduite après avoir été endommagé par électricité statique, mais les décharges cumulatives multiples endommageront interne des dispositifs d'IC et formeront des dangers cachés. Par conséquent, l'électricité statique a le potentiel d'endommager IC.
(3) dans quelles circonstances IC aléatoire peut-il subir des dommages électrostatiques ? Il peut dire que de la production d'une puce d'IC jusqu'à ce qu'il soit endommagé, tous les processus sont menacés par électricité statique, et la génération de l'électricité statique est également aléatoire. Ses dommages sont également aléatoires.
(4) l'analyse d'échec des dommages complexes de décharge électrostatique est due à l'amende, bonne longs, à forte intensité de main d'oeuvre, et chers, et aux caractéristiques structurelles minuscules des produits microélectroniques d'IC, exigeant la technologie de pointe et exigeant souvent l'utilisation des instruments fortement sophistiqués, néanmoins il est également difficile distinguer quelques phénomènes électrostatiques de dommages des dommages provoqués par d'autres raisons ; erreur de personnes que l'échec des dommages de décharge électrostatique en tant que d'autres échecs, qui sont souvent attribués à la défaillance précoce ou aux conditions inconnues avant la pleine compréhension des dommages de décharge électrostatique l'échec, ainsi dissimulent inconsciemment la vraie cause de l'échec. Par conséquent, il est compliqué pour analyser les dommages de l'électricité statique à IC.

Somme toute, il est nécessaire d'établir un système de protection électrostatique en cours de traitement, production et empaquetage d'IC ! Les lignes de production de empaquetage d'IC ont des conditions plus strictes pour l'électricité statique. Afin d'assurer le fonctionnement normal de la chaîne de production, la décoration globale des matériaux de construction antistatiques est effectuée sur l'atelier propre, et tout le personnel entrant dans et quittant l'atelier propre est équipé de l'habillement antistatique. En plus d'adopter des mesures de matériel, la société d'empaquetage peut suivre les normes nationales appropriées et la situation réelle de la société. La situation a formulé des normes d'entreprise ou des conditions spécifiques en termes d'antistatique de coopérer avec le fonctionnement normal des lignes de production de empaquetage d'IC. Avec l'expansion des lignes d'emballage d'IC de mon pays, l'amélioration des capacités d'emballage, l'augmentation des variétés d'emballage, et des conditions plus élevées pour la qualité et le rendement du produit, également, de divers besoins en matériel de logiciel et et la conscience de la protection électrostatique pour tous les praticiens renforçant est bien plus importante, et c'est également jouante et agissante en tant que « rôle principal » et « tueur invisible » affectant la qualité de nos produits. Par conséquent, la protection électrostatique sera une question importante dans l'industrie entière d'IC actuellement et à l'avenir.